· KRI 考夫曼射频离子源 RFICP220 制备富硅SiNx薄膜 | 2023-06-16 |
· KRI 考夫曼射频离子源 RFICP140 溅射多层沉积 Nb3Sn 超导薄膜 | 2023-06-16 |
· KRI 考夫曼射频离子源 RFICP380 溅射沉积 NSN70 隔热膜 | 2023-06-16 |
· KRI 考夫曼射频离子源 RFICP380 辅助磁控溅射 WS2 薄膜 | 2023-06-16 |
· KRI 考夫曼射频离子源 RFICP220 制备 YIG 薄膜 | 2023-06-16 |
· KRI 考夫曼射频离子源 RFICP140 溅射沉积铝锰合金薄膜 | 2023-06-16 |
· KRI 考夫曼射频离子源 RFICP220 辅助溅射沉积 MnZn 铁氧体薄膜 | 2023-06-16 |
· KRI 考夫曼射频离子源 RFICP380 辅助磁控溅射制 TiSiN-Ag 薄膜 | 2023-06-16 |
· KRI 考夫曼射频离子源 RFICP220 溅射沉积 Ir 膜 | 2023-06-16 |
· KRI 考夫曼射频离子源 RFICP140 溅射沉积 Ti-B-C 薄膜 | 2023-06-16 |